🏭 廠牌型號

半導體參數分析儀： Keysight / B1500A

真空探針台：禧恩科技POMME / MF-P2000LNT

⚙️ 設備用途 / 功能特色

用於進行半導體元件之精密電性參數量測，適用於分析元件在各種製程條件下的電性表現，具有高精度之I-V及C-V電性量測功能，支援低電流、高電壓與多頻率容量測試且能於各量測功能間快速切換。

📊 技術規格

l  最大支援基板尺寸：Samples with 8 inch diameter

l  探針與探針座：4組探針調整座

l  XYZ移動行程：X > 100mm，Y > 50mm，Z > 25mm

l  顯微鏡放大倍率：0.75X ~ 5X

l  放置環境：暗箱、防震桌

l  量測頻率範圍：1 kHz至5 MHz

l  電壓電流輸出範圍：最高可達200V/1A

l  解析度：大於0.1fA/0.5 μV。

l  模組套件：
1. 2組HRSMU高解析度量測單位
2. 1組HPSMU高功率量測單位
3. 1組MPSMU中功率量測單位
4. 1組MFCMU多頻電容量測單位
5. 1組WGFMU任意波形產生器
6. 1組HV-SPGU高電壓脈衝產生器
7. 1組SCUU模組

🔬 應用

l   電子元件或半導體元件之參數特性量測（如 I–V、C–V）

l   快速脈衝或動態 I–V 量測

l   多頻率電容／電壓量測 (MFCMU 模組) 以及 IV/CV 自動切換 (搭配 SCUU 模組) 的高效率測試流程

📍 設備位置

國立臺灣大學 水源校區 卓越研究大樓2F無塵室 量測區

📞 管理人 / 預約方式

管理人：江至皓 博士
預約方式：請由晶片驅動–全台半導體資源共享平台預約

⚠️ 安全與使用注意事項

l   操作前須完成儀器訓練並獲得使用權限

l   使用時請遵守中心安全規範與 SOP

l   若發現異常狀況，請立即停止操作並通知管理人

l   需自備探針

l   操作手冊