重點設備使用收費標準
Ø 學術單位
自行操作：依下表學術單位訂價收費。(臺大校內使用者提供額外八折優惠)
委託代工：依下表學術單位訂價收費，並另收人員操作費: 500元/半小時。(臺大校內委託者提供額外八折優惠)
§材料費無額外優惠
Ø 營利單位
自行操作：依下表營利單位訂價收費。
委託代工：依下表營利單位訂價收費，並另收人員操作費: 1,500元/半小時。
📘 黃光微影
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設備名稱
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學術單位
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營利單位
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備註
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電子束微影系統
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1,080元/半小時
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5,400元/半小時
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步進式曝光系統
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待定
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待定
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📘 薄膜沉積
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設備名稱
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學術單位
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營利單位
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備註
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電漿輔助原子層沉積系統
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300元/半小時
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1,500元/半小時
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另依材料加計
TMA: 5元/cycle
TDMAHf: 5元/cycle
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加熱式原子層沉積系統
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200元/半小時
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1,000元/半小時
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另依材料加計
TMA: 5元/cycle
TDMAHf: 5元/cycle
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感應耦合電漿化學氣相沉積系統
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390元/半小時
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1,950元/半小時
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超高真空濺鍍系統
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500元/半小時
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2,500元/半小時
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超高真空電子束蒸鍍系統
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550元/半小時
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2,750元/半小時
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貴金屬材料費另計
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📘 乾式蝕刻
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設備名稱
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學術單位
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營利單位
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備註
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感應耦合電漿蝕刻系統
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640元/半小時
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3,200元/半小時
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📘 量測分析
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設備名稱
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學術單位
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營利單位
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備註
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半導體參數分析儀/真空探針台系統
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110元/半小時
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550元/半小時
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