預約使用半導體製程及系統研究中心之設備，請詳閱以下注意事項：
l 本中心無塵室與奈米機電系統研究中心共用，無塵室門禁權限由奈米機電系統研究中心統一管理(含線上測驗與一般訓練課程)，若已取得卓越大樓無塵室門禁則不須再額外取得門禁權限。
l 請一定一定要先申請TSRI會員取得帳號，若為學生身分請一定要掛教授並審核通過。
自行操作
1. 自行操作需先通過本中心開設之該設備訓練檢定課程取得使用權限。
2. 本中心重點設備需至晶片驅動–全台半導體資源分享平台以自行操作規則預約，其他預約方式均不成立(重點設備請見中心儀器設備頁面)；非重點設備請直接至本中心網站預約。
3. 本中心所有設備均須預約才能刷開使用，請確定有預約到設備再進入無塵室使用。
4. 本中心所有設備均不開放當日預約，敬請提早預約欲使用設備。
5. 目前各設備僅開放上班時間預約使用。
6. 使用設備前請至卓越研究大樓207辦公室領取設備使用卡，使用完畢後請記得歸還。
7. 設備刷開請記得刷關，否則將以系統認定時間額外收費。
8. 本中心以半小時費率收費，重點設備收費以預約網站之預約時段為準，使用不滿預約時段仍以預約時段計費，使用超過將追加費用(不滿半小時仍以半小時計)。
9. 請遵守各設備使用規範，有任何使用上的不確定請停止使用，向中心人員或熟悉該設備之他人確認後再使用，若設備因操作不當損壞或汙染，將全額究責。
10. 設備有任何不正常狀況請馬上告知中心人員。
11. 費用將以月結方式與註冊時填寫之付款人收費。
委託操作
1. 請先填寫線上表單，將由負責人員與您確認委託內容與後續流程。(重點設備之委託操作請勿直接於預約網站預約，將直接取消)
2. 所有委託操作將以收到回簽報價單與匯款證明後才會安排執行。
3. 本中心重點設備需至晶片驅動–全台半導體資源分享平台以委託操作規則預約(提供回簽報價單與匯款證明後，負責人員會提供預約時段)，其他預約方式均不成立(重點設備請見中心儀器設備頁面)；非重點設備不須此步驟。
4. 無提供急件服務，請自行評估時間。
5. 陪同代工需自身有無塵室門禁權限並刷自己卡進入，不具無塵室門禁權限者恕不開放陪同代工。
6. 請特別注意本中心收款帳戶與奈米機電系統研究中心不同，請仔細確認報價單與email之收款帳號，匯款錯誤將無法退款，且仍匯款到正確帳戶才會執行委託操作。
7. 僅依雙方討論製程委託操作，中心並無對實驗結果提供任何保證。
8. 委託操作收據將依申請表單選擇方式提供(提供匯款證明後2周內)。