重點設備訓練暨檢定收費標準
Ø 課程注意事項:
下表為半導體製程及系統研究中心每月排定課程之費用 。
加開課程費用為原價之2倍 。
課程人數需符合最低開課人數。
📘 黃光微影
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設備名稱
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學術單位
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營利單位
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開課人數
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訓練
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檢定
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訓練
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檢定
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電子束微影系統
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1,500元
*練習: 1,500元
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1,500元
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3,000元
*練習: 3,000元
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3,000元
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3-6人
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步進式曝光系統
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1,500元
*練習: 1,500元
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1,500元
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3,000元
*練習: 3,000元
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3,000元
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3-6人
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📘 薄膜沉積
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設備名稱
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學術單位
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營利單位
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開課人數
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訓練
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檢定
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訓練
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檢定
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電漿輔助原子層沉積系統
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1,500元
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1,500元
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3,000元
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3,000元
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3-6人
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加熱式原子層沉積系統
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1,500元
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1,500元
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3,000元
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3,000元
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3-6人
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感應耦合電漿化學氣相沉積系統
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1,500元
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1,500元
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3,000元
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3,000元
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3-6人
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超高真空濺鍍系統
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1,500元
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1,500元
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3,000元
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3,000元
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3-6人
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超高真空電子束蒸鍍系統
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1,500元
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1,500元
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3,000元
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3,000元
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3-6人
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📘 乾式蝕刻
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設備名稱
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學術單位
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營利單位
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開課人數
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訓練
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檢定
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訓練
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檢定
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感應耦合電漿蝕刻系統 (原子層蝕刻)
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1,500元
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1,500元
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3,000元
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3,000元
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3-6人
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📘 量測分析
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設備名稱
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學術單位
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營利單位
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開課人數
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訓練
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檢定
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訓練
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檢定
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半導體元件參數量測真空探針台系統
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1,500元
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1,500元
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3,000元
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3,000元
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3-6人
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