重點設備訓練暨檢定收費標準
Ø 課程注意事項:
下表為半導體製程及系統研究中心每月排定課程之費用 。
加開課程費用為原價之2倍 。
課程人數需符合最低開課人數。
📘 黃光微影
|
設備名稱
|
學術單位
|
營利單位
|
開課人數
|
|
訓練
|
檢定
|
訓練
|
檢定
|
|
電子束微影系統
|
1,500元
*練習: 1,500元
|
1,500元
|
3,000元
*練習: 3,000元
|
3,000元
|
3-6人
|
|
步進式曝光系統
|
1,500元
*練習: 1,500元
|
1,500元
|
3,000元
*練習: 3,000元
|
3,000元
|
3-6人
|
📘 薄膜沉積
|
設備名稱
|
學術單位
|
營利單位
|
開課人數
|
|
訓練
|
檢定
|
訓練
|
檢定
|
|
電漿輔助原子層沉積系統
|
1,500元
|
1,500元
|
3,000元
|
3,000元
|
3-6人
|
|
加熱式原子層沉積系統
|
1,500元
|
1,500元
|
3,000元
|
3,000元
|
3-6人
|
|
感應耦合電漿化學氣相沉積系統
|
1,500元
|
1,500元
|
3,000元
|
3,000元
|
3-6人
|
|
超高真空濺鍍系統
|
1,500元
|
1,500元
|
3,000元
|
3,000元
|
3-6人
|
|
超高真空電子束蒸鍍系統
|
1,500元
|
1,500元
|
3,000元
|
3,000元
|
3-6人
|
📘 乾式蝕刻
|
設備名稱
|
學術單位
|
營利單位
|
開課人數
|
|
訓練
|
檢定
|
訓練
|
檢定
|
|
感應耦合電漿蝕刻系統
|
1,500元
|
1,500元
|
3,000元
|
3,000元
|
3-6人
|
📘 量測分析
|
設備名稱
|
學術單位
|
營利單位
|
開課人數
|
|
訓練
|
檢定
|
訓練
|
檢定
|
|
半導體元件參數量測真空探針台系統
|
1,500元
|
1,500元
|
3,000元
|
3,000元
|
3-6人
|