各位教授與使用者您好： 本中心電漿輔助原子層沉積系統(PEALD)預計將於8/24~9/11停機進行維護保養(視狀況調整)，若有氧化物沉積需求可改為使用加熱式原子層沉積系統(Thermal ALD)，向各位使用者之不便與困擾致上歉意，以上如有任何相關問題，歡迎隨時聯絡中心人員，謝謝各位的體諒與配合。
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本中心電漿輔助原子層沉積系統(PEALD)預計將於8/24~9/11停機進行維護保養(視狀況調整)，若有氧化物沉積需求可改為使用加熱式原子層沉積系統(Thermal ALD)，向各位使用者之不便與困擾致上歉意，以上如有任何相關問題，歡迎隨時聯絡中心人員，謝謝各位的體諒與配合。