Biography：

李永春特聘教授目前服務於國立成功大學機械工程系，1994年獲得美國西北大學理論與應用力學博士學位，研究超音波顯微鏡應用於材料的非破壞性檢測；1994-96年間擔任美國康乃爾大學工程與應用物理系博士後研究員，研究超快飛秒雷射於薄膜材料性質的量測; 1996-97在台北的鴻海精密工業公司擔任專案工程師，從事電子元件的高頻電磁特性模擬與量測技術開發。1997年加入成大機械系後，主要研究領域包括：應力波動學、超聲波非破壞性檢測、壓電材料與聲波感測器、準分子雷射微細加工、奈米壓印與轉印技術、無縫滾筒模仁製作技術、軟性光罩微影製程、無光罩式曝光技術與機台設備開發…等，曾主持多項國家型計畫與大型產學計畫，榮獲多項榮譽與獎勵，包括：二次科技部「傑出研究獎」(2018、2021)、中國機械工程學會「傑出工程教授」(2017)與「會士」(2018)、中國工程師學會「傑出工程教授獎」(2022)，成功大學之「李國鼎科技與人文講座」金質獎(2017)、「產學合作成果教師特優獎」(2016、2019、2022)、「教學特優獎」(2023) 等，目前擔任國科會機械固力學門的召集人。

Abstract：

微奈米結構的製程技術是近幾十年來全球新興科技的重要基礎，涵蓋的範圍包括：半導體與電子產業、光學與光電產業、平面顯示器、微機電、生物技術與生醫工程應用、…等等。微奈米製程技術的發展趨勢，除了不斷追求愈來愈小的特徵尺寸、愈來愈大的製作面積，同時也要考慮生產成本與可量產性，因此需要在工程技術與設備研發上不斷地精益求精。

本次演講，將統整演講者過去多年來在微奈米製程技術與設備研發上的主要成果，內容包括：(1).準分子雷射3D微細加工(Excimer Laser 3D Micromachining)；(2).奈米壓印、轉印、與滾印製程技術(Nano-Imprinting, Contact Printing, and Roller Imprinting)；(3).軟性光罩微影技術(Soft Photomask Lithography)；(4).數位光學與無光罩式曝光機(Maskless Lithography based on Digital Light Processing)。研究內容除了深入了解與掌握每一項製程技術的基本原理與關鍵技術，也同時發揮機械工程在機構設計、力學分析、與運動控制上的工程背景與技術優勢，嘗試自行設計與開發出符合實用目的機台與設備，並優化製程參數，建立技術自主性，評估製程的可量產性。最後，本演講將討論這些微奈米製程技術的產業應用，以及後續的技術發展趨勢與未來展望。